超聲波清洗在半導體行業(yè)中的應用
清洗產(chǎn)品:二極管、硅片等 主要清洗物質:細小塵埃顆粒
工藝難點:1. 超聲波可能會損傷半導體零件2. 半導體零件對潔凈度要求高
解決方法:采用高頻超聲清洗
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